ForschungDissertationen
Rotationsschleifen von Silizium-Wafern

Rotationsschleifen von Silizium-Wafern

Kategorien Doktorarbeiten
Jahr 2000
Autoren Lehnicke, S.:
Veröffentlicht in Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 534, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-353402-9, 137 S.