Rotationsschleifen von Silizium-Wafern
| Kategorien |
Doktorarbeiten |
| Jahr | 2000 |
| Autoren | Lehnicke, S.: |
| Veröffentlicht in | Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 534, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-353402-9, 137 S. |
