ForschungDissertationen
Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen

Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen

Kategorien Doktorarbeiten
Jahr 2000
Autoren Ostendorf, Andreas
Beschreibung

Für den Präzisionsabtrag dielektrischer Werkstoffe mit hohen Bindungsenergien bzw. mit großem Bandabstand bieten sich gegenwärtig sowohl Excimer-Laser mit Wellenlängen im VUV-Bereich als auch Femtosekundenlaser mit Emissionen bei größeren Wellenlängen an.