Abtragen von Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen.

Kategorien Doktorarbeiten
Jahr 2002
Autoren Wagner, T.:
Veröffentlicht in Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 609, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-360902-9, 118 S.