ForschungPublikationen
Prototypischer Aufbau einer elektromagnetischen Führung für Mikrosysteme.

Prototypischer Aufbau einer elektromagnetischen Führung für Mikrosysteme.

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2009
Autoren Denkena, B., Kayapinar, H., Brehmeier, S.:
Veröffentlicht in 4. Kolloquium Mikroproduktion, Fachbeiträge der vier SFB der Mikrotechnik, 28.-29. Oktober 2009, Bremen, Hrsg. Vollertsen, F., Büttgenbach, S., Kraft, O., Michaeli, W., S. 157-162.