Active linear guidances for micro actuators: alternative concepts and first prototypes.
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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
Jahr | 2008 |
Autoren | Denkena, B., Brehmeier, S., Möhring, H.-C.: |
Veröffentlicht in | Microsystem Technologies, Vol. 14 (2008) No. 12, S. 1961-1973. |