Einsatz feinstkörnigerDiamanttopfschleifscheiben zum Planschleifen von Halbleitersubstratscheiben.
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 1997 |
| Autoren | Tönshoff, H.K., Egger, R., Lehnicke, S.: |
| Veröffentlicht in | Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen u. Polieren, Ausgabe 58, S. 310-320. |
