ForschungPublikationen
Einsatz feinstkörnigerDiamanttopfschleifscheiben zum Planschleifen von Halbleitersubstratscheiben.

Einsatz feinstkörnigerDiamanttopfschleifscheiben zum Planschleifen von Halbleitersubstratscheiben.

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 1997
Autoren Tönshoff, H.K., Egger, R., Lehnicke, S.:
Veröffentlicht in Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen u. Polieren, Ausgabe 58, S. 310-320.