Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen Forschung Publikationen
Einsatz feinstkörnigerDiamanttopfschleifscheiben zum Planschleifen von Halbleitersubstratscheiben.

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Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 1997
Autoren Tönshoff, H.K., Egger, R., Lehnicke, S.:
Veröffentlicht in Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen u. Polieren, Ausgabe 58, S. 310-320.