Micromachining Using Excimer Lasers.
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
| Jahr | 1993 |
| Autoren | Tönshoff, H.K., Hesse, D., Mommsen, J.: |
| Veröffentlicht in | CIRP Annals - Manufacturing Technology, Vol. 42 (1993) 1, S. 247-251. |
