Micromachining Using Excimer Lasers.
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Zeitschriften/Aufsätze (reviewed) |
Jahr | 1993 |
Autoren | Tönshoff, H.K., Hesse, D., Mommsen, J.: |
Veröffentlicht in | CIRP Annals - Manufacturing Technology, Vol. 42 (1993) 1, S. 247-251. |