Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen Forschung Publikationen
Präziser und dynamischer bei reduziertem Bauraum

Scaling Aerostatic Technology to Microsystems.

Kategorien Zeitschriften/Aufsätze (reviewed)
Jahr 2001
Autoren Tönshoff, H.K., Kopp, D.:
Veröffentlicht in Annals of the German Academic Society for Production Engineering (WGP), Production Engineering, Vol. VIII (2001) Ausgabe 1, S.145-148.