Potentiale fluiddynamischer Antriebskonzepte für Planarantriebe der Mikroproduktion

Der Trend zur Miniaturisierung kann in vielen Branchen beobachtet werden. Eine anhaltende Verringerung der Bauteilgrößen bei gleichzeitiger Steigerung der Bauteilkomplexität stellt hohe Anforderungen an die zukünftige Fertigungstechnologie und kann durch heutige Werkzeugmaschinen nicht wirtschaftlich abgebildet werden. Planarmotoren scheinen als Antriebslösung für kleine, effiziente Werkzeugmaschinen in der Mikrofertigung prädestiniert. Im vorliegenden Beitrag werden fluidbasierte und elektrodynamische Antriebskonzepte verglichen. Anschließend wird ein neuer fluiddynamischer Antrieb vorgestellt, der neben der translatorischen Bewegung in X- und Y-Richtung auch unbeschränkte Drehungen um die Z-Achse ermöglicht.