Prototypischer Aufbau einer elektromagnetischen Führung für Mikrosysteme.
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2009 |
| Autoren | Denkena, B., Kayapinar, H., Brehmeier, S.: |
| Veröffentlicht in | 4. Kolloquium Mikroproduktion, Fachbeiträge der vier SFB der Mikrotechnik, 28.-29. Oktober 2009, Bremen, Hrsg. Vollertsen, F., Büttgenbach, S., Kraft, O., Michaeli, W., S. 157-162. |
