Rotationsschleifen von Silizium-Wafern
| Categories |
Doktorarbeiten |
| Year | 2000 |
| Authors | Lehnicke, S.: |
| Published in | Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 534, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-353402-9, 137 S. |
