ForschungDissertations
Rotationsschleifen von Silizium-Wafern

Rotationsschleifen von Silizium-Wafern

Categories Doktorarbeiten
Year 2000
Authors Lehnicke, S.:
Published In Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 534, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-353402-9, 137 S.