ForschungDissertations
Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen

Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen

Categories Doktorarbeiten
Year 2000
Authors Ostendorf, Andreas
Description

Für den Präzisionsabtrag dielektrischer Werkstoffe mit hohen Bindungsenergien bzw. mit großem Bandabstand bieten sich gegenwärtig sowohl Excimer-Laser mit Wellenlängen im VUV-Bereich als auch Femtosekundenlaser mit Emissionen bei größeren Wellenlängen an.