Präzisionsbearbeitung von monokristallinem Silizium.
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 1991 |
| Autorinnen/Autoren | Tönshoff, H.K., Klein, M.: |
| Veröffentlicht in | Tagung, Werkstoffe der Mikrotechnik, Basis für neue Produkte, 24.-25. Oktober 1991, Karlsruhe, S. 29-78. |
