Process of Generating 3D-Microstructures with Excimer-Laser.
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 1993 |
| Autorinnen/Autoren | Tönshoff, H.K., Mommsen, J.: |
| Veröffentlicht in | Nato ASi, September 1993, Elounda, Kreta. |
