Synthesis of Layer Systems TiN/TiCn/TiC on Steel and Cermet Substrates by PACVD.
| Kategorien |
Konferenz |
| Jahr | 1994 |
| Autorinnen/Autoren | Tönshoff, H.K., Blawit, C., Rie, K.T., Gebauer, A., Wöhle: |
| Veröffentlicht in | Proc. Conf. Plasma Surface Engineering, 23 Seiten. |
