Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen
| Categories |
Doktorarbeiten |
| Year | 2000 |
| Authors | Ostendorf, Andreas |
Description
Für den Präzisionsabtrag dielektrischer Werkstoffe mit hohen Bindungsenergien bzw. mit großem Bandabstand bieten sich gegenwärtig sowohl Excimer-Laser mit Wellenlängen im VUV-Bereich als auch Femtosekundenlaser mit Emissionen bei größeren Wellenlängen an.
