Abtragen von Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen.
| Categories |
Doktorarbeiten |
| Year | 2002 |
| Authors | Wagner, T.: |
| Published in | Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 609, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-360902-9, 118 S. |
