Abtragen von Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen.
| Kategorien |
Doktorarbeiten |
| Jahr | 2002 |
| Autorinnen/Autoren | Wagner, T.: |
| Veröffentlicht in | Fortschritt-Berichte VDI, Reihe 2, Nr. 609, Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Werkzeugmaschinen, Universität Hannover, VDI-Verlag, ISBN 3-18-360902-9, 118 S. |
